簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Yong-Lin Kuo".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="數位微反射鏡裝置"


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    點陣列式微影系統中光學模組與動態掃描曝光模式之設計開發
    • 自動化及控制研究所 /103/ 碩士
    • 研究生： 黃一峻   指導教授： 郭鴻飛
    • 傳統的印刷電路板(printed circuit board, PCB)微影製程中，主要以具有光罩的鄰近式(proximity)或接觸式(contact)的曝光方式在光阻上進行曝光製程。然而，製作光…
    • 點閱：551  下載：56 

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    應用於半導體先進封裝製程之數位微影潛像品質分析
    • 自動化及控制研究所 /107/ 碩士
    • 研究生： 萬道聲   指導教授： 郭鴻飛
    • 在半導體製程中，先進封裝(Advanced Package, AP)被視為持續摩爾定律的辦法之一，使用不同功能之晶片將其進行堆疊，並使用先進封裝可以得到較小的元件尺寸，本文將研究探討數位微影曝光系統…
    • 點閱：271  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/07/30 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/07/30 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/07/30 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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